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KRI 霍尔离子源控制器成功替换取代 Veeco 控制器

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所在地: 广东深圳市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-02-05 10:34
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公司基本资料信息
详细说明
   伯东公司为 Kaufman & Robinson, Inc (美国考夫曼公司) 大中国区总代理.

 

美国考夫曼公司 KRI 霍尔离子源控制器已成功替换取代 Veeco Commonwealth 控制器, 完全不需更改任何镀膜机计算机程序及相关设定即可直接运做.

 

KRi (考夫曼) 霍尔源控制器有全自动控制器 (Auto Co***oller), 灯丝控制器 (Filament Co***oller),阳极控制器 (Discharge Co***oller), 运作时选择全自动匹配 (Auto Gas), 半自动 (Manual Gas) 匹配及全手动匹配 (Gas Only) 三种操作选项. 在全自动逼配模式自动控制器依照客户所设定之阳极电流 (Vd) 及阳极电压 (ID) 自动调整气体以维持工艺所需要的离子束能量. 全自动控制器可以记忆四组离子参数, 工艺中更换参数组别时可以在离子束点火中直接切换参数组别, 不需重新熄火做点燃离子束, 以达到最稳定的离子束状态.

 

实际案例:

  1. 设备: 1.3 米镀膜机.
  2. 基材: 塑料护目镜.
  3. 离子源条件: Vb:140V(离子束阳极电压), Ib:2.5A(离子束阳极电流), O2 gas: 9sccm(氧气).
  4. 图片:

 

上海伯东是美国考夫曼离子源 Kaufman & Robinson, Inc 中国总代理. 美国 KRI 霍尔离子源全自动匹配, 四组参数记忆, 可同时控制四种气体流量的设计, 绝对可以提供更方便的操做及获得更稳定的离子束.可以完全替换 Veeco, Commonwealth, 国产霍尔离子源控制器.

 

KRI 霍尔离子源控制器 (End Hall Co***oller) 型号: 全自动控器 (Auto co***oller), 灯丝控制器(Filament Co***oller), 阳极控制器 (Discharge Co***oller)

 

上海伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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